又稱硅氟氫酸。無水物是無色氣體。不穩定。易分解為四氟化硅和氟化氫。水溶液無色，呈強酸性反應。有腐蝕性，能侵蝕玻璃。保存于蠟制或塑料制等容器中。濃溶液冷卻時析出無色二水物的晶體，熔點19℃。氟硅酸有消毒性能。用于制氟硅酸鹽和冰晶石，并用于電鍍、啤酒消毒、木材防腐等。由二氧化硅溶解于氫氟酸中或混和石英粉、氟化鈣和濃硫酸后加熱而制得。也可從磷肥廠中分解磷礦時逸出的四氟化硅氣體用水吸收而得。